內(nèi)容概況：WAT測(cè)試是指在半導(dǎo)體晶圓完成制程工藝后，在晶圓切割道（Scribe Line）的測(cè)試圖案（test key）上所進(jìn)行的電性測(cè)試，達(dá)到監(jiān)控各步工藝正常和穩(wěn)定。實(shí)施WAT測(cè)試需要使用特定的測(cè)試設(shè)備和儀器，這些設(shè)備的選擇對(duì)于測(cè)試的準(zhǔn)確性至關(guān)重要?，F(xiàn)代WAT依賴精密儀器集群，包括參數(shù)分析儀、探針臺(tái)和溫控系統(tǒng)等。WAT測(cè)試設(shè)備是半導(dǎo)體測(cè)試的核心工藝檢測(cè)設(shè)備，近年來(lái)，伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，全球WAT測(cè)試設(shè)備規(guī)模不斷壯大，由2020年的4.0億美元增至2025年的7.2億美元，實(shí)現(xiàn)年復(fù)合增長(zhǎng)率12.5%；期間2024年受晶圓廠新建產(chǎn)能不足影響，半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模略有下滑。中國(guó)的半導(dǎo)體封測(cè)技術(shù)處于全球第一梯隊(duì)，封測(cè)是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力最強(qiáng)、自主化程度最高的環(huán)節(jié)之一。在WAT測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域，我國(guó)也實(shí)現(xiàn)了較大突破，產(chǎn)品性能不斷提升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模明顯擴(kuò)張，市場(chǎng)規(guī)模由2020年的6.2億元增至2025年的12.2億元，期間年復(fù)合增長(zhǎng)率為14.5%。中國(guó)半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)高度集中的寡頭競(jìng)爭(zhēng)格局，大部分市場(chǎng)份額被以Keysight、QualiTau為代表的海外企業(yè)占據(jù)，2024年Keysight占據(jù)了我國(guó)WAT測(cè)試機(jī)市場(chǎng)73.4%的份額，Keysight WAT 4082是目前業(yè)界主流WAT測(cè)試機(jī)，其一貫精確和穩(wěn)定的性能有口皆碑。國(guó)內(nèi)廣立微、聯(lián)訊儀器等企業(yè)正加速追趕。國(guó)內(nèi)企業(yè)中，已有廣立微、聯(lián)訊儀器實(shí)現(xiàn)了WAT測(cè)試設(shè)備量產(chǎn)，打破了國(guó)外企業(yè)壟斷地位，開(kāi)啟了國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。

上市企業(yè)：廣立微（301095.SZ）、華峰測(cè)控（688200）、矽電股份（301629）、長(zhǎng)川科技(300604)

相關(guān)企業(yè)：蘇州聯(lián)訊儀器股份有限公司等

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備發(fā)展背景、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備企業(yè)格局、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)

一、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)相關(guān)概述

WAT測(cè)試是指在半導(dǎo)體晶圓完成制程工藝后，在晶圓切割道（Scribe Line）的測(cè)試圖案（test key）上所進(jìn)行的電性測(cè)試，達(dá)到監(jiān)控各步工藝正常和穩(wěn)定。晶圓允收測(cè)試（WAT）技術(shù)作為半導(dǎo)體制造過(guò)程控制的關(guān)鍵組成部分，其發(fā)展歷程可追溯至1978年。作為行業(yè)先驅(qū)，臺(tái)積電（TSMC）率先在該領(lǐng)域取得突破性進(jìn)展，成功申請(qǐng)了"自動(dòng)晶圓驗(yàn)收測(cè)試方法"專利。隨著半導(dǎo)體制造工藝的不斷演進(jìn)，TSMC于1997年進(jìn)一步獲得"集成缺陷良率管理與查詢系統(tǒng)"專利，標(biāo)志著WAT技術(shù)在半導(dǎo)體制造過(guò)程控制中的應(yīng)用進(jìn)入新的發(fā)展階段。

實(shí)施WAT測(cè)試需要使用特定的測(cè)試設(shè)備和儀器，這些設(shè)備的選擇對(duì)于測(cè)試的準(zhǔn)確性至關(guān)重要?，F(xiàn)代WAT依賴精密儀器集群，包括參數(shù)分析儀、探針臺(tái)和溫控系統(tǒng)等。測(cè)試時(shí)，晶圓被真空吸附在載物臺(tái)上，探針卡的微小探針精準(zhǔn)接觸測(cè)試結(jié)構(gòu)，在毫秒級(jí)時(shí)間內(nèi)完成數(shù)千個(gè)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。部分高端設(shè)備還支持多站點(diǎn)并行測(cè)試，大幅提升效率。測(cè)試數(shù)據(jù)通過(guò)統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制（SPC）軟件實(shí)時(shí)分析，生成晶圓圖（Wafer Map）直觀顯示參數(shù)分布。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)全景調(diào)研及投資趨勢(shì)研判報(bào)告》

二、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)發(fā)展背景

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為衡量一個(gè)國(guó)家科技實(shí)力和綜合國(guó)力的重要標(biāo)志，在數(shù)字化轉(zhuǎn)型加速的背景下，半導(dǎo)體的戰(zhàn)略地位更加凸顯。近年來(lái)，全球主要國(guó)家和地區(qū)都在加大對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的扶持力度，旨在爭(zhēng)奪半導(dǎo)體行業(yè)的主導(dǎo)地位。2023年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了長(zhǎng)達(dá)一整年的“低位運(yùn)行”，高庫(kù)存、低需求、降投資、減產(chǎn)能持續(xù)在各個(gè)細(xì)分板塊輪動(dòng)。2024年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度逐步復(fù)蘇，重新進(jìn)入穩(wěn)步增長(zhǎng)的發(fā)展態(tài)勢(shì)。根據(jù)WICA數(shù)據(jù)，受AI強(qiáng)勁市場(chǎng)需求影響，2025年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至7189億美元。隨著“十四五”規(guī)劃的深入實(shí)施和國(guó)家對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)政策支持，中國(guó)已成為全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能增長(zhǎng)最快的地區(qū)，2025年中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)2115億美元，同比增長(zhǎng)14.1%。

設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié)之一。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈已初步形成了較為完整的體系，涵蓋了從前端晶圓制造到后端封裝測(cè)試的各個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。中國(guó)已成為全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的核心驅(qū)動(dòng)力。SEMI報(bào)告顯示，2025年前三季度，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)361.8億美元，占全球市場(chǎng)銷售額的36.6%，穩(wěn)居榜首。

三、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)現(xiàn)狀

WAT測(cè)試設(shè)備是半導(dǎo)體測(cè)試的核心工藝檢測(cè)設(shè)備，近年來(lái)，伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，全球WAT測(cè)試設(shè)備規(guī)模不斷壯大，由2020年的4.0億美元增至2025年的7.2億美元，實(shí)現(xiàn)年復(fù)合增長(zhǎng)率12.5%；期間2024年受晶圓廠新建產(chǎn)能不足影響，半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模略有下滑。

中國(guó)的半導(dǎo)體封測(cè)技術(shù)處于全球第一梯隊(duì)，封測(cè)是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力最強(qiáng)、自主化程度最高的環(huán)節(jié)之一。在WAT測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域，我國(guó)也實(shí)現(xiàn)了較大突破，產(chǎn)品性能不斷提升，產(chǎn)業(yè)規(guī)模明顯擴(kuò)張，市場(chǎng)規(guī)模由2020年的6.2億元增至2025年的12.2億元，期間年復(fù)合增長(zhǎng)率為14.5%。

四、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)企業(yè)格局

中國(guó)半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)呈現(xiàn)高度集中的寡頭競(jìng)爭(zhēng)格局，大部分市場(chǎng)份額被以Keysight、QualiTau為代表的海外企業(yè)占據(jù)，2024年Keysight占據(jù)了我國(guó)WAT測(cè)試機(jī)市場(chǎng)73.4%的份額，Keysight WAT 4082是目前業(yè)界主流WAT測(cè)試機(jī)，其一貫精確和穩(wěn)定的性能有口皆碑。國(guó)內(nèi)廣立微、聯(lián)訊儀器等企業(yè)正加速追趕。

國(guó)內(nèi)企業(yè)中，已有廣立微、聯(lián)訊儀器實(shí)現(xiàn)了WAT測(cè)試設(shè)備量產(chǎn)，廣立微WAT測(cè)試設(shè)備自2020年經(jīng)幾家典型客戶示范性應(yīng)用驗(yàn)收通過(guò)后，近兩年開(kāi)始規(guī)?；M(jìn)入晶圓廠量產(chǎn)線。WAT設(shè)備經(jīng)歷了大量的調(diào)試、改進(jìn)與檢驗(yàn)才與客戶產(chǎn)線相適配、達(dá)到量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，因而產(chǎn)品的客戶粘性較高。目前，廣立微的主力銷售機(jī)型為性價(jià)比較高的T4000系列（針對(duì)成本較敏感的8英寸及以下產(chǎn)線）以及T4100S系列（并行測(cè)試設(shè)備，針對(duì)測(cè)試效率要求較高的12寸晶圓廠）。聯(lián)訊儀器于2022年發(fā)布WAT6200系列（串行測(cè)試），2024年發(fā)布WAT6300系列（高壓串行測(cè)試）及WAT6600系列（48路并行測(cè)試），主力機(jī)型為WAT6200系列，WAT6300系列、WAT6600系列正在送樣驗(yàn)證中。

四、半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)

半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模與晶圓制造行業(yè)的產(chǎn)能提升呈正相關(guān)。數(shù)據(jù)顯示，預(yù)計(jì)2024年至2030年全球晶圓廠產(chǎn)能將以4.3%的復(fù)合年增長(zhǎng)率擴(kuò)張，晶圓制造廠產(chǎn)能擴(kuò)張將帶動(dòng)WAT測(cè)試設(shè)備需求增長(zhǎng)，行業(yè)規(guī)模將保持?jǐn)U張態(tài)勢(shì)。同時(shí)，國(guó)內(nèi)企業(yè)將不斷加大WAT測(cè)試設(shè)備研發(fā)與推廣力度，未來(lái)將有更多的國(guó)產(chǎn)企業(yè)實(shí)現(xiàn)WAT測(cè)試設(shè)備量產(chǎn)，行業(yè)國(guó)產(chǎn)化水平將不斷提升。隨著中國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試公司加快供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化，積極尋求能配合適合自身工藝發(fā)展的供應(yīng)商，國(guó)內(nèi)WAT測(cè)試設(shè)備公司將迎來(lái)更大發(fā)展機(jī)遇。此外，在技術(shù)方面，半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備未來(lái)的發(fā)展方向?qū)⒕劢褂诟鼜?fù)雜的測(cè)試陣列設(shè)計(jì)和并行測(cè)試能力的提升，以進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間并降低成本。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.kissmam.com）發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體WAT測(cè)試設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)全景調(diào)研及投資趨勢(shì)研判報(bào)告》。智研咨詢是中國(guó)領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號(hào)，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。